Cymwysiadau Penodol Glanhawyr Plasma

Mae peiriannau glanhau/ysgythru plasma yn cynhyrchu plasma trwy osod dau electrod mewn cynhwysydd wedi'i selio i greu maes trydan. Defnyddir pwmp gwactod i gynnal lefel gwactod penodol. Wrth i'r nwy fynd yn fwyfwy prin, mae'r pellter rhwng moleciwlau a symudiad rhydd moleciwlau neu ïonau hefyd yn cynyddu. O dan ddylanwad y maes trydan, mae'r ïonau hyn yn gwrthdaro ac yn ffurfio plasma. Mae'r ïonau hyn yn adweithiol iawn, gyda digon o egni i dorri bron pob bond cemegol, gan achosi adweithiau cemegol ar unrhyw arwyneb agored. Mae gan wahanol plasmasau nwy briodweddau cemegol gwahanol. Er enghraifft, mae plasma ocsigen yn ocsideiddiol iawn, yn gallu ocsidio ffotoresist i gynhyrchu nwy, gan gyflawni effaith glanhau. Mae gan plasma nwy cyrydol anisotropi rhagorol, sy'n bodloni gofynion ysgythru. Mae triniaeth plasma yn cynhyrchu llewyrch, a dyna'r rheswm dros yr enw rhyddhau glow.
Mae mecanwaith glanhau plasma yn dibynnu'n bennaf ar "actifadu" gronynnau gweithredol yn y plasma i gael gwared â staeniau arwyneb. O ran y mecanwaith adwaith, mae glanhau plasma yn gyffredinol yn cynnwys y broses ganlynol: mae nwyon anorganig yn cael eu cyffroi i gyflwr plasma; sylweddau nwyol yn cael eu harsugno ar yr wyneb solet; mae'r grwpiau arsugnedig yn adweithio â moleciwlau ar yr arwyneb solet i ffurfio moleciwlau cynnyrch; mae moleciwlau'r cynnyrch yn dadelfennu i'r cyfnod nwy; ac mae'r gweddillion adwaith yn cael eu tynnu o'r wyneb.

Nodwedd fwyaf arwyddocaol technoleg glanhau plasma yw y gall drin unrhyw fath o swbstrad, gan gynnwys metelau, lled-ddargludyddion, ocsidau, a'r rhan fwyaf o ddeunyddiau polymer fel polypropylen, polyester, polyimide, polyvinyl clorid, epocsi, a hyd yn oed polytetrafluoroethylene. Gall lanhau'r wyneb cyfan ac ardaloedd penodol, yn ogystal â strwythurau cymhleth.