Offer LCD RF Plasma

Mae Offer Plasma LCD RF yn system perfformiad uchel a ddatblygwyd ar gyfer trin wyneb LCD, OLED, a deunyddiau arddangos paneli gwastad eraill. Fe'i cynlluniwyd i gwrdd â gofynion llym gweithgynhyrchu modern, lle mae prosesu sefydlog a thrwybwn uchel yr un mor bwysig. Mae'r system gyffredinol yn mesur 880mm × 790mm × 1710mm, gyda maint siambr gwactod o 450mm × 450mm × 450mm. Mae pob plât electrod yn 410mm × 430mm, a gellir prosesu hyd at bum haen o swbstradau ar yr un pryd mewn un cylch.

 

O safbwynt swyddogaethol, mae'r offer yn darparu AEM sy'n gyfeillgar i'r defnyddiwr sy'n caniatáu addasu paramedrau proses allweddol yn uniongyrchol fel pŵer allbwn RF, hyd pwmpio gwactod, segmentau triniaeth unigol, a chyfraddau llif nwy. Gellir addasu'r gosodiadau hyn yn gyflym i addasu i wahanol ddeunyddiau neu ofynion prosesau, gan gynnig hyblygrwydd a chysondeb ar gyfer gweithrediadau diwydiannol.

Mae'r system cyflenwi nwy yn cefnogi tair sianel annibynnol a gall drin nitrogen (N₂), argon (Ar), hydrogen (H₂), ac ocsigen (O₂). Mae mesuryddion llif yn cael eu graddnodi o fewn ystod 0-200 ml/munud, gyda chywirdeb rheolaeth yn cadw amrywiadau o dan 5%. Mae'r holl brif gydrannau niwmatig yn cael eu cyflenwi gan SMC, ac mae selio'r siambr yn dibynnu ar gasgedi rwber fflworo gwydn, gan sicrhau sefydlogrwydd hirdymor mewn amgylcheddau heriol. Mae plasma'n cael ei gynhyrchu trwy gyflenwad pŵer RF hunan-addasol sy'n gweithredu ar 13.56 MHz, gydag allbwn mwyaf o 1 kW, gan warantu cyflenwad ynni dibynadwy ar gyfer triniaeth unffurf.

Yn strwythurol, mae'r siambr wedi'i chynhyrchu o ddur di-staen 304 purdeb uchel i leihau ocsidiad a chorydiad. Mae'r system yn defnyddio dyluniad sêl ddeuol ar gyfer cywirdeb gwactod, tra bod dalwyr electrod copr yng nghefn y siambr yn diogelu platiau electrod llorweddol trwy gloeon sgriwiau lluosog, gan wella sefydlogrwydd a throsglwyddo egni. Mae cefnogaeth ochr ychwanegol yn atgyfnerthu'r electrodau ymhellach. Mae cydbwysedd gwactod wedi'i optimeiddio: mae-falf rhyddhau cyflym yn caniatáu cyfartalu pwysau o fewn 5-10 eiliad, gan leihau amser segur a hybu cynhyrchiant.

Er mwyn sicrhau diogelwch gweithredol, mae gan y peiriant system larwm nam. Mae'n cofnodi dyddiad, amser ac achos unrhyw ddigwyddiad annormal, tra bod cau awtomatig yn cael ei sbarduno i amddiffyn y siambr a'r darnau gwaith.

O ran cymhwysiad, mae'r offer hwn yn cael ei fabwysiadu'n eang ar gyfer prosesau tanlenwi sglodion fflip. Mae glanhau plasma cyn tanlenwi yn gwella gweithrediad arwyneb yn sylweddol, yn gwella gwlybedd, ac yn cynyddu adlyniad rhwng y swbstrad a'r amgapsiwlydd. O ganlyniad, mae nid yn unig yn gwella ansawdd pecynnu ond hefyd yn gwella dibynadwyedd hirdymor cydosodiadau arddangos a lled-ddargludyddion uwch.

Tagiau poblogaidd: offer plasma lcd rf, gweithgynhyrchwyr offer plasma lcd rf Tsieina, ffatri